本文计算了SF

6

电弧等离子体的平衡成份

温度范围为5000K—30000K

气压为0.2MPa。考虑到等离子体中的主要组成为SF

6

、SF

4

、SF

2

、S

2

、F

2

、S、F、S

+

、F

+

、F

-

、e

在计算过程中仅考虑一次电离。在SF

6

电弧等离子体平衡成份的计算基础上

本文计算了一些SF

6

等离子体光谱分析中常选用的几条谱线的线光谱发射系数。