太赫兹波在绝缘介质材料传播中不仅具有衰减小，准直性强，穿透性好等优点，而且在成像可视化方面具有较高的分辨率，深受电气设备绝缘缺陷检测领域学者的喜爱。首先概述了太赫兹波的产生和探测技术，介绍了太赫兹时域光谱技术和基于时域、频域信号的特征参量对绝缘缺陷成像的原理，给出了电气设备绝缘缺陷应用太赫兹波检测的典型案例，探讨了目前存在的探测方式选取、缺陷类型识别、在线监测可行性的相关问题，最后对太赫兹技术在电气设备绝缘缺陷检测领域的前景进行了展望。